大陽日酸、先進的な窒化物半導体デバイスの研究開発を支援

業界動向

大陽日酸(東京都品川区、永田研二社長)は7月7日、ポーランドの科学アカデミー高圧物理研究所Unipressに複数台の同社製MOCVD装置を納入することが決まったと発表した。同装置は、原料に有機金属やガスを用いながら基盤上に化合物半導体の成膜を行う。

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